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中芯国际申请专利，提高光掩模版传输轨道兼容性

科技
2024-11-07 08:55:02
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国家知识产权局信息显示，中芯国际集成电路制造（北京）有限公司、中芯国际集成电路制造（上海）有限公司申请了一项名为“光掩模版传输轨道以及自动化传输系统”的专利，公开号为 CN 118833577 A，申请日期为 2023 年 4 月。

中芯国际申请专利，提高光掩模版传输轨道兼容性

该专利摘要指出，一种光掩模版传输轨道以及自动化传输系统，包括多个 H 型轨道单元。每个轨道单元包括多个纵向轨道和横向轨道。通过纵向轨道，可与具有第二类承载模块的光刻设备适配，设置在其上方；通过横向轨道，可与具有第一类承载模块的光刻设备适配，设置在其上方。该光掩模版传输轨道能提高与不同类型光刻设备的兼容性，满足多种光刻设备类型的设计需求，提升半导体制造工厂的可调整弹性。

本文源自：金融界

作者：情报员

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